Přehled produktů
Nice-Tech nabízí dva speciální systémy pro leptání křemíku pro různé velikosti plátků, oba založené na technologii ICP a přizpůsobené pro hromadnou výrobu integrovaných obvodů.
12palcový systém (SES-12)
Zaměřuje se na 12-palcové IC frontend-procesy (FEOL). Skládá se z ICP leptacích komor a přenosového modulu, pokrývá křemíkové leptání, dielektrické leptání, hradlové leptání, W zahloubení a SADP, určené pro vysoce přesné vzorování logických a paměťových zařízení.
8palcový systém (SES-8)
Více-komorový systém pro 8-palcové továrny, zaměřený na procesy brány. Zajišťuje menší nebo rovnou 5 % v rámci -stejnoměrnosti leptání mezi plátkem a plátkem-, vynikající kontrolu částic a podporuje zahloubení AA, STI, spacer a W.
Výhody
Široké pokrytí procesů
Máme zde dvě hlavní nastavení. 12palcový systém přebírá všechny druhy FEOL procesů, žádný problém. Co se týče 8palcového? Zaměřuje se na brány a související procesy a dokonale se hodí pro uzly 0,11μm a vyšší.
Vysoká přesnost a stabilita
Přesnost je místo, kde tyto systémy září. 12-palcový model poskytuje nejvyšší-jednotnost a selektivitu leptání – přesně to, co pokročilé procesy vyžadují. 8palcová verze si také drží své: nízká odchylka uniformity a přísná kontrola částic, takže se můžete spolehnout na konzistentní výsledky.
Hromadná-výroba a nákladová-efektivita
Nejlepší ze všeho je, že oba jsou připraveny pro sériovou výrobu. 12-palcový je určen pro velké-výrobní linky, což dává smysl pro velkoobjemové-série. 8palcový je však chytrou volbou, pokud aktualizujete kapacitu – šetří místo i náklady, což je vždy plus pro provoz.
Aplikace
Výroba IC FEOL
12palcový systém pro 12palcové logické/paměťové procesy FEOL; 8palcový systém pro leptání 8palcových bran.
Pokročilé procesy
12palcový systém podporuje zahloubení SADP/W; 8palcový systém funguje pro procesy STI/spacer.
Zvýšení kapacity
12-palcový integrovatelný do velkých továren; 8-palcový poskytuje cenově výhodnou podporu pro středně malé továrny.
Parametry
|
Kategorie |
12palcový systém silikonového leptání |
8palcový systém silikonového leptání |
|
Kompatibilita oplatek |
12-palcové (300mm) IC wafery, přizpůsobené pro hromadné výrobní linky |
8palcové IC wafery; kompatibilní s uzly 0,11μm a pokročilými technologiemi |
|
Konfigurace komory |
ICP leptací komory + přenosový modul |
ICP leptací komory + přenosový modul; více-komorový design pro hromadnou výrobu |
|
Klíčové schopnosti procesu |
Leptání křemíku, leptání dielektrika, leptání hradla, zahloubení W, SADP |
Leptaná brána, AA, STI, rozpěrná leptaná, W prohlubeň |
|
Rovnoměrnost leptání |
Vynikající kontrola jednotnosti (splňuje pokročilé standardy přesnosti uzlů) |
menší nebo rovno 5 % v rámci-waferu; Menší nebo rovno 5 % wafer-na-wafer |
|
Kontrola částic |
Přísná kontrola částic pro vysoký výtěžek produktu |
Vynikající kontrola částic pro stabilní hromadnou výrobu |
|
Průmyslová shoda |
Vhodné pro objemovou výrobu 12- IC; vyhovuje normám pro hromadnou výrobu polovodičů |
Nezávislý optimalizovaný design; vyhovuje 8palcovým prostorovým a nákladovým požadavkům na zvýšení kapacity |
FAQ
Otázka: Jaké velikosti plátků tyto dva systémy podporují?
Odpověď: 12palcový systém podporuje 12palcové (300mm) IC wafery a 8palcový systém podporuje 8palcové IC wafery.
Otázka: Jaké základní procesy pokrývají?
A: 12palcový systém pokrývá křemíkové leptání, dielektrické leptání, SADP, zahloubení W atd.; 8palcový systém se zaměřuje na gate etch a podporuje STI, spacer etch atd.
Otázka: S jakými technologickými uzly jsou kompatibilní?
Odpověď: 12palcový systém se přizpůsobí pokročilým technologickým uzlům; 8palcový systém je kompatibilní s pokročilými uzly 0,11μm a vyšší.
Otázka: Jsou oba systémy vhodné pro hromadnou výrobu?
A: Ano. 12-palcový systém je vhodný pro velké-výrobní linky, zatímco 8-palcový systém šetří místo a je nákladově efektivní pro hromadnou výrobu.
Otázka: Jaká je jednotnost leptání u 8palcového systému?
Odpověď: Má menší nebo rovnou 5 % v rámci-stejnoměrnosti destičky a menší nebo rovnou 5 % destičky-k-stejnoměrnosti destičky.
Populární Tagy: systém na leptání křemíku, výrobci, dodavatelé systémů na leptání křemíku v Číně
