Naše vertikální trubka pece je specializované řešení tepelného zpracování vytvořené pro výrobu složených polovodičů a optoelektroniku. Je navržen tak, aby poskytoval konzistentní, opakovatelná tepelná prostředí pro kritické procesy waferů, přičemž kombinuje robustní mechanickou konstrukci s přesným řízením teploty a plynu pro podporu velko-objemové výroby s úzkými procesními okny.

Stabilní, spolehlivý výkon: Systém je navržen pro dlouhodobý-provoz s nízkými{1}}prostoji, s konzistentní tepelnou stejnoměrností a opakovatelností procesu, což pomáhá udržovat vysoké výnosy ve všech výrobních sériích.

Silná bezpečnostní opatření: Vrstvený bezpečnostní blokovací systém nepřetržitě monitoruje teplotu, tlak a podmínky plynu a automaticky reaguje na anomálie, aby chránil operátory, destičky a zařízení.

Intuitivní, efektivní ovládání: Rozhraní a pracovní postup jsou zjednodušeny, aby se zkrátila doba školení a lidské chyby, zatímco optimalizované načítání a procesní cykly zlepšují celkovou propustnost a snadnou údržbu.

Flexibilní pokrytí procesů: Kompatibilní s 6palcovými a 8palcovými wafery, pojme až 150 kusů na sérii a pracuje od 400 stupňů do 1250 stupňů, takže je vhodný pro širokou škálu tepelných kroků při výrobě moderních zařízení.

Tato vertikální trubka pece podporuje celou řadu tepelných procesů používaných při výrobě polovodičů a optoelektroniky:

Oxidace: vytváření vysoce kvalitních-dielektrických vrstev na površích plátků

Žíhání: uvolnění napětí, oprava defektů a ladění elektrických vlastností materiálu

Legování: úprava složení a výkonu tenkých-slitin

PI vytvrzování: zesíťování a stabilizace polymeru pro polyimidové vrstvy

Nanášení tenkých filmů: Poly, TEOS, SiN, HTO a další klíčové procesy růstu filmu

Otázka: 1. Co je vertikální trubka pece?

Odpověď: Vertikální trubka pece je vysoce přesné{0}}zařízení pro tepelné zpracování pro výrobu polovodičů a optoelektroniky, které se používá k oxidaci, žíhání, legování, vytvrzování PI a nanášení tenkých vrstev.

Otázka: 2. K jakým procesům se vertikální trubka pece používá?

Odpověď: Podporuje oxidaci, žíhání, legování, vytvrzování PI, Poly, TEOS, SiN, HTO a další procesy růstu tenkých vrstev.

Otázka: 3. Jaké velikosti plátků a teplotní rozsah podporuje?

Odpověď: Podporuje 6palcové a 8palcové wafery (až 150 kusů na dávku) s rozsahem procesní teploty 400 stupňů –1250 stupňů.

Otázka: 4. Jaké jsou klíčové výhody této vertikální pece?

Odpověď: Vysoká spolehlivost a stabilita, kompletní bezpečnostní blokovací systém, uživatelsky přívětivý provoz, vysoká účinnost a vynikající jednotnost procesu.

Otázka: 5. Je snadná obsluha a údržba?

Odpověď: Ano, nabízí jednoduché rozhraní, efektivní pracovní postup a nízké nároky na údržbu.

Otázka: 6. Může být přizpůsoben pro konkrétní procesy?

Odpověď: Ano, nabízíme přizpůsobení teploty, plynových systémů, procesních receptur a metod plnění, abychom vyhověli speciálním potřebám.

Populární Tagy: vertikální pec pro tepelné zpracování, výrobci, dodavatelé vertikálních pecí pro tepelné zpracování v Číně