Přehled produktů
Naše vertikální oxidační a žíhací pec je postavena pro spolehlivé tepelné zpracování při výrobě polovodičů. Zvládá oxidaci, žíhání a legování pro wafery používané v integrovaných obvodech, napájecích zařízeních a MEMS. Díky podpoře 6palcových, 8palcových a 12palcových waferů a kapacitě dávek až 150 kusů je navržen tak, aby poskytoval konzistentní výsledky v širokém rozsahu procesních teplot.
Výhody
Silná spolehlivost systému a stabilní výkon, takže procesy zůstávají opakovatelné i při dlouhém běhu.
Plně bezpečnostní blokovací mechanismy chrání obsluhu, plátky a samotnou pec během provozu.
Intuitivní ovládání a jednoduchá údržba pomáhají zkrátit prostoje a zjednodušit každodenní používání.
Aplikace
Integrované obvody: používají se v krocích oxidace, žíhání a legování ke zlepšení kvality filmu a výkonu zařízení.
Napájecí zařízení: Podporuje vysokoteplotní{0}}tepelné zpracování, které zlepšuje elektrické vlastnosti a dlouhodobou-spolehlivost.
MEMS: poskytuje řízené tepelné zpracování pro tvorbu struktury, uvolnění napětí a stabilizaci zařízení.
FAQ
Otázka: K čemu je tato vertikální oxidační a žíhací pec?
Odpověď: Je to systém tepelného zpracování používaný pro oxidaci, žíhání a legování při výrobě polovodičů, zejména pro integrované obvody, výkonová zařízení a MEMS.
Otázka: Jaké velikosti oplatek zvládne?
Odpověď: Podporuje 6palcové, 8palcové a 12palcové wafery, takže funguje pro mnoho běžných výrobních a R&D nastavení.
Otázka: Kolik waferů dokáže zpracovat najednou?
Odpověď: Pec může naložit až 150 plátků na dávku, což pomáhá udržovat dobrou průchodnost bez ztráty stability procesu.
Otázka: Jaký rozsah teplot pokrývá?
Odpověď: Procesní teploty se pohybují od 400 stupňů do 1250 stupňů, takže zvládne širokou škálu tepelných úprav.
Otázka: Co dělá tuto pec spolehlivou při každodenním používání?
Odpověď: Má silnou celkovou stabilitu, systém plného bezpečnostního blokování a přímou obsluhu a údržbu, což pomáhá zkrátit prostoje a udržet hladký chod výroby.
Otázka: Lze jej použít jak ve výzkumu a vývoji, tak ve výrobě?
A: Ano. Díky flexibilnímu řízení teploty a kompatibilitě s různými velikostmi plátků je vhodný pro vývoj v laboratořích i pro sériovou výrobu.
Populární Tagy: vertikální oxidační a žíhací pece, Čína výrobci vertikálních oxidačních a žíhacích pecí, dodavatelé
