Přehled produktů

Vertikální sušička oplatek -je vyrobena s ohledem na přesnost a je přizpůsobena přísným požadavkům těchto odvětví.
Co to dělá praktickým? Pro začátek jsou zde dvě nezávislé komory-, takže můžete spouštět různé procesy současně, aniž by došlo ke křížové{1}}kontaminaci, což je obrovská-úspora času na vytížených výrobních linkách. Pak je tu pokročilý řídicí systém; věci nejen „řídí“, ale dolaďuje-každý parametr, aby byla konzistentní-pevná. A nejlepší na tom je, že kombinuje čištění a sušení v jedné jednotce-není třeba přemisťovat destičky mezi stroji, což snižuje manipulaci a riziko poškození.

Výrobci se nakonec zajímají o spolehlivost a čistotu-a tato sušička nabízí obojí. Je to druh zařízení, které nejen splňuje průmyslové standardy, ale hladce zapadá do toho, jak fungují skutečné výrobní týmy.

Aplikace

Vertikální sušička oplatek navržená tak, aby zvládla sušení po čištění SPM kyselinou a organickém čištění-ve dvou krocích, kde je kontrola zbytků prvořadá. Kromě toho také podporuje potřeby po-schnutí pro vývoj fotolitografie, odstraňování fotorezistu, leptání ITO/BOE a odstředivé potahování. Největší výhodou je zde jeho konzistence: zajišťuje žádné zbytkové kontaminanty nebo problémy s částicemi a udržuje kvalitu procesu stabilní dávku po dávce.

Tato vertikální sušička oplatek také zazáří ve scénářích vysoce{0}}použití. U waferových-balení mikro-senzorů a čipletů udržuje míru fragmentace pod 1/10 000-, což je pro výrobce přímo úspora nákladů. Kromě toho se dobře-hodí pro zpracování speciálních plátků citlivých na teplotu{10}}, jako je arsenid gallia a safír. Tyto materiály jsou choulostivé, ale sušička splňuje jejich požadavky na ultra-čistotu a nízké{12}}poškození, takže se nemusíte obávat závad souvisejících s procesem.

Výhody

Dusíkové těsnění Mayrinth, izolace dutiny a dutiny, žádný kontaktní těsnící účinek, aby byly zajištěny požadavky na procesní prostředí.

Online detekce šoku

Funkce elektrostatické eliminace, produkt bude produkovat statickou elektřinu vysokou rychlostí, použití vysokonapěťového zařízení pro elektrostatické odstranění k dosažení stavu neutralizace povrchu produktu

Funkce mechanického samočinného{0}}resetování, zastavte pohotovostní schránku na čipy směrem nahoru

Parametry

Kategorie	Položka	Podrobnosti specifikace
Základní informace	Název produktu	Vertikální dvoukomorová sušička
	Číslo modelu	Semiclean-QX-61-2M-A
	Velikost (referenční)	D×H×V=Šířka povrchu 490 mm × Hloubka 937 mm × Výška 1880 mm
	Hmotnost (přibližně)	260 kg
Procesní dutina a kazeta	Procesní dutina	Dvojitá dutina (horní a spodní), nezávisle ovladatelná; lze umístit 6" přizpůsobený nosný rotor
	Použitý typ kazety	KM-40N (100 mm), A182-60MB (150 mm)
	Specifikace dílů pro čištění a sušení	Vybaveno 2ks 4" zakázkových rotorů; kazeta dodaná zákazníkem, díly rotoru jsou finální designové vzorky
Provozní parametry	Nastavení doby procesu	1s - 900s; přesnost údržby Menší nebo rovna ±5 %
	Pracovní rychlost	100-2500 ot./min. (nastavitelné podle vlastností produktu a procesu); rychlostní chyba < ±2%
	Rozsah teplot sušení v komoře	Minimum: Větší nebo rovno 45 stupňům; Maximum: Menší nebo rovno 85 stupňům
	Požadavek na suchou čistotu	Částice Větší nebo rovné 0,3 μm < 30 zrn na plátek
	Zařízení UPTIME	větší nebo rovno 95 %; průměrná měsíční-bezproblémová pracovní doba Větší nebo rovna 648 hodin
	Rychlost fragmentace operace	Menší nebo rovno 1/10000
Požadavky na média	Deionizovaná voda	Rozsah tlaku: 0,2~0,4Mpa; maximální průtok: 0,7 m³/h
Požadavky na média	Dusík	Rozsah tlaku: 0,5~0,6Mpa; maximální spotřeba: 18-20 m³/h; používá se k ohřevu a těsnění
Funkce a ochrana	Čištění sprejem	Vybaveno sprejovým čisticím zařízením a procesem samočištění dutiny-
	Těsnění během provozu	Dveře komory a hřídel motoru utěsněné dusíkem
	Detekce úniku	Vestavěný-senzor úniku; spustí alarm úniku, aby se zabránilo úniku
	Ochrana procesu	Po dokončení procesu nelze rozhraní ovládat, pokud nejsou otevřena dvířka pro vyjmutí produktů, čímž se zabrání sekundární operaci
Řídicí systém	Core Control	PLC programovatelné řízení; uloží 10 sekcí procesu (10 kroků na sekci); uživatelé mohou podle potřeby zapínat/vypínat každou dílčí-funkci
	Kontrola oprávnění	2 typy řízení oprávnění k provozu, každý nakonfigurovaný s heslem oprávnění
	Funkce zobrazení	Obrazovka zobrazuje informace o každém procesu
	Režim ovládání a rozhraní	Každá komora může být nezávisle řízena; operační rozhraní: dotykový LCD displej

FAQ

Pro která průmyslová odvětví je tato vertikální sušička oplatek určena?

Je primárně přizpůsoben pro sektory polovodičů a mikroelektroniky-pro scénáře, kde je sušení plátků o vysoké čistotě-nevyjednávatelné-. Každá část jeho designu se opírá o jedinečné potřeby těchto průmyslových odvětví.

Jaké základní procesy zvládne?

Pokrývá celou řadu klíčových kroků zpracování waferů. Konkrétně se stará o-sušení po čištění SPM kyselinou, čištění organickým rozpouštědlem, vyvolání fotolitografie, odstranění fotorezistu, leptání ITO/BOE a odstřeďování-všech kritických bodů, kde záleží na důkladném vysušení.

Jaká je výhoda jeho dvojitého-dutinového designu?

Horní a dolní dutiny fungují nezávisle-, můžete ovládat každou zvlášť. To znamená, že můžete zpracovávat wafery v obou současně, což skutečně zvyšuje efektivitu výroby. Navíc, pokud různé procesy vyžadují různé parametry, každá dutina si dokonale poradí s vlastním nastavením.

Jaký je standard čistoty po vysušení?

Je to dost přísné a má to dobrý důvod. Po vysušení má každý plátek méně než 30 částic o velikosti 0,3 μm nebo větší. To je v souladu s vysokými-požadavky na čistotu při výrobě polovodičů.

Je snadná na obsluhu?

Absolutně. Dodává se s dotykovou obrazovkou LCD a programovatelným ovládáním PLC-super intuitivní. Můžete uložit až 10 sekcí procesu a každá sekce může mít 10 kroků. K dispozici je také duální-správa hesel pro zabezpečení. I noví operátoři si rychle osvojí základy.

Jak spolehlivé je zařízení?

Jeho provozní stabilita je velkým prodejním argumentem. UPTIME zařízení dosahuje alespoň 95 % a běží bez problémů průměrně 648 hodin nebo více každý měsíc. A co je ještě lepší, míra fragmentace waferu není během provozu větší než 1/10 000-, takže kvůli závadám zařízení příliš neztratíte.

Jaká média potřebuje ke svému provozu?

Pouze dva typy: deionizovaná voda a dusík. Deionizovaná voda potřebuje tlak mezi 0,2-0,4 MPa s maximálním průtokem 0,7 m³/h. Dusík vyžaduje tlak 0,5-0,6 MPa a spotřebuje maximálně 18-20 m³/h. Používají se k čištění, ohřevu a těsnění – každý hraje klíčovou roli při správném provedení práce.

Populární Tagy: vertikální sušička destiček, výrobci vertikálních sušiček destiček v Číně, dodavatelé