LPCVD (Low Pressure Chemical Vapour Deposition) je základní technologie výroby polovodičů. Funguje to takto: za nízkých-tlaků se plynné sloučeniny zahřívají, aby spustily reakce a zanechávaly na povrchu substrátu stabilní pevné tenké filmy. Většinou se používá pro klíčové filmy, jako je nitrid křemíku, oxid křemíku a polykrystalický křemík,-perfektní pro potřeby základních procesů integrovaných obvodů, optoelektronických zařízení a podobných oborů.
Společnost Nice-Tech nezávisle vyvinula dva modely LPCVD: horizontální a vertikální. Oba se vyznačují vysoce-přesným řízením teploty a špičkovou-jednotností filmu, která pokrývá vše od ověření výzkumu a vývoje až po-výrobu ve velkém měřítku. Horizontální model je skvělý pro 8-palcové a menší wafery-, plynule přepíná mezi oxidací, difúzí, žíháním a dalšími procesy, takže je ideální pro sériovou výrobu a kontrolu procesů. Vertical se svým modulárním designem a automatizovanou integrací zvládá 6-12palcové wafery. Je vhodnější pro inteligentní výrobní linky, které vyžadují efektivní nanášení. Společně nabízejí stabilní a spolehlivá nízkotlaká depoziční řešení pro výrobu polovodičů – žádné složité nastavování, pouze konzistentní výkon, když se to počítá.
I. Body výběru jádra
1. Velikost waferu: Horizontální LPCVD pracuje s 8-palcovými a menšími wafery. Vertikální LPCVD pokrývá širší rozsah (6-12 palců), takže je vhodný-pro masovou výrobu velkých plátků.
2. Potřeby scénáře: Pokud provádíte výzkum a vývoj nebo více{1}}procesní ověřování, je nejlepší volbou horizontální LPCVD-jeho snadné přepínání procesů (oxidace, difúze, žíhání atd.) těmto potřebám dokonale vyhovuje. Pro velkosériovou-výrobu nebo integraci s inteligentními výrobními linkami je Vertical LPCVD lepší díky své modulární konstrukci a automatizaci.
3. Filmy a výkon: Oba modely nanášejí hlavně nitrid křemíku, oxid křemíku a polykrystalický křemík. Pokud však potřebujete speciální fólie, jsou k dispozici vlastní řešení na základě vašich specifických požadavků na proces. Pokud jde o výkon, horizontální LPCVD má jednotnost menší nebo rovnou ±2 %, zatímco vertikální zásahy menší nebo rovné ±3 %. Oba pracují mezi 500 stupni a 800 stupni, což odpovídá nízkotlakému -procesu chemického nanášení par pro většinu běžných polovodičových tenkých vrstev.
II. Klíčové aplikační scénáře
1. Integrované obvody (IC): Je to klíčový krok při výrobě CMOS, IGBT a dalších čipů-připravujících hradlové oxidy a mezivrstvová dielektrika, která přímo ovlivňují výkon čipu.
2. Optoelektronická zařízení: U zařízení VCSEL nanáší optické filmy, které upravují optické i elektrické vlastnosti, aby zařízení fungovala lépe.
3. Wide-Bandgap Semiconductors: Bezproblémově fungují s nanášením tenkého-filmu z karbidu křemíku (SiC) a splňují potřeby vysokoteplotních{3}}zařízení.
4. Vědecký výzkum: Skvělé pro malé-dávkové experimenty-, ať už testujete nové materiály, jako je lithium niobát, nebo zkoumáte nové procesy, jako je nanášení filmu pomocí kvantových čipů.
III. Vhodné skupiny zákazníků
1. Výzkumné instituce a univerzity: Horizontální LPCVD je správná cesta. Díky schopnosti přepínat mezi různými procesy je velmi užitečný pro malé-dávkové výzkumné projekty s různými potřebami.
2. Střední a malé-polovodičové podniky: Horizontální LPCVD nabízí velkou hodnotu. Je dostatečně flexibilní pro malý-dávkový výzkum a vývoj a jeho vyspělá, na trhu-osvědčená struktura také podporuje hromadnou výrobu 8-palcových a menších plátků – perfektní, pokud potřebujete kombinovat více procesů.
3. Velké-výrobní podniky: Vertikální LPCVD je nutností. Pokrývá 6-12palcové wafery a hladce se integruje s inteligentními výrobními linkami, čímž zvyšuje efektivitu výroby ve velkém měřítku.
4. Optoelectronic & Wide-Výrobci bandgap materiálů: Vybírejte podle svého výrobního rozsahu. Vertikální LPCVD je ideální pro hromadnou výrobu, zatímco horizontální LPCVD vyhovuje fázím výzkumu a vývoje, kde možná budete potřebovat otestovat různé parametry.
5. Rychlá poznámka k údržbě: Obě zařízení obvykle vyžadují servis každých 6 až 12 měsíců,-jako je čištění dutin a kalibrace systému regulace teploty. Přesné načasování závisí na frekvenci používání a složitosti procesu, ale náš poprodejní-tým zasílá pravidelná připomenutí, aby vše na správné cestě.
