Magnetronové naprašovací zařízení je páteří technologie PVD-všechny tři naše modely pokládají-kovové, dielektrické a polovodičové filmy na špičkové úrovni, ale jsou určeny pro různé úlohy. Pokud si lámete hlavu nad tím, který z nich se hodí, tento průvodce to jednoduše rozebere podle toho, kdo je používá a k čemu slouží.
Pro koho jsou jednotlivé modely určeny?
Průmyslový jednokomorový-model: Vyrobeno pro velké výrobce polovodičů, kteří vyrábějí CMOS/IGBT a další integrované obvody. Tyto týmy potřebují stálý výkon, nízké provozní náklady a vybavení, se kterým se snadno udrží-něco, co se bez problémů vsune přímo na jejich sériové linky.
Průmyslový více{0}}komorový model: Ideální pro špičkové{0}}výrobce elektronických zařízení zaměřených na 5G nebo optoelektroniku. Zabývají se složitými více-vrstvami ve velkém měřítku, takže automatizace, přesnost a čisté zpracování (bez kontaminace z ručních kroků) jsou -nevyjednávatelné.
Výzkumný-model hodnocení: Ideální pro univerzity, laboratoře a začínající firmy s novými materiály. Lidé zde testují malé série,-myslí si, že prototypy karbidu křemíku nebo kvantových čipů-takže potřebují flexibilitu, aby mohli upravit nastavení a udržet náklady na výzkum a vývoj pod kontrolou.
K čemu se používají?
Průmyslový jednokomorový-model: Září v masové-produkci standardních filmů na 8-palcových (nebo menších) plátcích. Je rychlý, konzistentní (stejnoměrnost filmu zůstává pod ±3 %) a efektivně využívá cíle ke snížení nákladů. Skvěle funguje s křemíkem, sloučeninami, keramikou – všemi základními součástmi průmyslové výroby.
Průmyslový více{0}}komorový model: Zvládá náročné věci: rozsáhlou-výrobu složitých vícevrstvých filmů-pro 5G a optoelektronická zařízení. Jeho modulární, automatizované komory zvyšují účinnost, zatímco pokročilá kontrola částic udržuje filmy ultra-čisté. Hodí se na 6-8 palcové wafery a pěkně si hraje s křemíkem, sloučeninami a dalšími.
Výzkumný-model hodnocení: Hřiště pro výzkum a vývoj. Podporuje jedno{1}}cílové, více{2}}cílové sekvenční nebo společné{3}}naprašování- skvělé pro testování kovů (Al, Au, Cu), dielektrik (SiO₂, TaN) a polovodičů. Má přesné řízení teploty (RT-600 stupňů, topení/chlazení) a malé-dávkové zpracování, které ušetří na zkušebních provozech, plus volitelné doplňky, jako jsou předvakuové komory.
Rychlý výběr: 3 jednoduché kroky
Začněte svým hlavním cílem: Masová výroba? Jděte do průmyslové výroby. výzkum a vývoj? Uchopte model výzkumu.
Zúžit: Standardní filmy/8-palcová waferová hromadná výroba → jednokomorová-. Komplexní více-vrstvé filmy → více-komorové. Flexibilní testování malých-sérií → výzkumná úroveň.
Důkladně{0}}zkontrolujte klíčové údaje: Velikost plátku (max. 8-palců pro jednu/výzkumnou, 6-8 palců pro více-komoru), kompatibilitu materiálů (všechny podporují jiné než-silikonové věci, jako je keramika nebo kovy) a upgrady (více{7}}komorové/výzkumné modely-výzkumné planžety mohou dopředu přidat terč).
