Zařízení pro oxidaci a difúzi RTP je základní nástroj pro tepelné zpracování polovodičů-kombinující oxidaci, difúzi a žíhání do jedné robustní jednotky. Bezproblémově spolupracuje s křemíkem, karbidem křemíku a dalšími kritickými materiály, manipuluje s wafery až 8 palců a získal si reputaci pro spolehlivý výkon a přesné ovládání, které splňuje každodenní-každodenní{4}}požadavky na zpracování polovodičů.
Základní aplikace
1. Hromadná výroba zařízení na bázi křemíku-: Je to tahoun za integrovanými obvody, IGBT a podobnými součástmi. Použijete jej pro narůstání izolačních filmů oxidací, nastavení úrovně dopingu pomocí difúze a vyžehlení defektů žíháním-to vše při zachování vysokého-objemu potřebného ve spotřební elektronice a průmyslové kontrole.
2. Široké-zpracování materiálu v pásmu: Tento nástroj si skutečně přijde na své s pokročilými materiály, jako je SiC a GaN. Umožní vám vyladit koncentraci dopingu a vyhladit rozhraní materiálů, což je klíčové pro výrobu vysoce-výkonných dílů-výkonových modulů pro nová energetická vozidla, která musí obstát v náročných podmínkách.
3. Výzkum a vývoj polovodičů: Univerzity a laboratoře na něj přísahají za jeho flexibilitu. Jedná se o více{2}}procesní platformu, která umožňuje výzkumníkům bez problémů přepínat mezi oxidací, difúzí a dalšími-dokonalými nástroji pro testování nových materiálů, jako je oxid gallia, nebo provádění experimentů, aby zjistili, jak se různé parametry otřásají.
Ideální uživatelé
1. Velké-výrobní společnosti: Pokud chrlíte polovodiče pro spotřební elektroniku nebo nová energetická vozidla, musíte toto vybavení-mít. Jeho design vše-v-jednom snižuje dodatečné náklady a udržuje pracovní postupy v pohybu, zatímco jeho stálý výkon zajišťuje, že výroba zůstane na správné cestě a výnosy zůstanou konzistentní-žádné neočekávané prostoje vás nezpomalí.
2. Výzkumné instituce a univerzity: Tento nástroj je vhodný pro týmy, které se zabývají novými polovodičovými materiály. Snadno zvládá malé-dávkové experimenty, pracuje se širokou škálou materiálů a umožňuje upravovat parametry procesu podle potřeby-, což pomáhá urychlit tempo inovací, aniž by došlo ke kompromisům ve výsledcích.
3. Střední a malí výrobci zařízení: Pokud potřebujete sladit zakázkové zakázky se sériovou výrobou, je toto zařízení chytrou volbou. Pracuje s více materiály, takže si nemusíte kupovat samostatné nástroje pro různé procesy, a jeho 1-4 procesní trubice vám umožní zvýšit nebo snížit kapacitu. Tato agilita je velkým plusem, když se snažíte zůstat konkurenceschopní na rychle se měnícím trhu.
