Buďme skuteční-výběr žíhací pece neznamená jen zaškrtnutí políček. Jde o to najít něco, co vyhovuje vašemu pracovnímu postupu, ať už děláte v laboratoři nebo chrlíte oplatky 24/7. Máme šest modelů RTP (Rapid Thermal Processing), z nichž každý je vytvořen pro konkrétní úlohy, takže si pojďme rozebrat, jak se zaměřit na ten, který vám skutečně vyhovuje,-ne naopak.
Zaprvé: Zjistěte základy, na kterých nejvíce záleží
Než se pustíte do specifikací, začněte třemi jednoduchými otázkami. Ty proniknou hlukem rychleji než cokoli jiného.
1. Kolik vyděláváte a jakou velikost oplatek používáte?
Váš výstup a velikost plátku jsou -nedohodnuté{1}}, okamžitě vyloučí modely, které nemohou držet krok nebo se nevejdou na vaše díly.
Například:
Pokud jste univerzitní laboratoř, která testuje nové materiály se 4-palcovými wafery (a potřebujete jich jen několik týdně), naše stolní RTP zařízení je perfektní. Dosahuje maximální úhlopříčky 6 palců a vejde se na pracovní stůl – není potřeba žádná velká půda.
Pokud vyrábíte 8-wafery (řekněme 500 až 2 000 týdně) pro střední-objemovou produkci, poloautomatické RTP zařízení dává smysl. Zvládá 8–12 palců a snižuje manuální práci bez nákladů na plnou automatizaci.
Pro velko-objemové obchody (2,{2}} wafery týdně, 12-palcová velikost) budete chtít zařízení pro automatické RTP nebo zařízení pro vysokoteplotní oxidaci RTP-. Automatická běží 24/7 s roboty – žádná lidská chyba věci nezpomaluje.
Je to jednoduché: Nekupujte si 12-palcovou pec, pokud používáte pouze 6palcové wafery. Budete plýtvat prostorem a penězi.
2. Co přesně se snažíš dělat?
Naše pece nejsou jedno-trikové poníky-, ale jsou optimalizovány pro konkrétní úkoly. Pokud potřebujete vypěstovat filmy SiO₂ pro čipy CMOS, neberte si model vytvořený pro nízkoteplotní žíhání.
Zde je rychlý zápas:
Pěstování čistých, hustých SiO₂ filmů (pro IGBT nebo MEMS)? Použijte zařízení pro vysokoteplotní oxidaci RTP{0}}. Dosahuje přesných teplot (600–1150 stupňů) a udržuje extrémně nízkou hladinu kyslíku-kritickou pro kvalitu filmu.
Potřebujete přepínat mezi oxidací, difúzí a žíháním (vše v jednom stroji)? Oxidační a difúzní RTP zařízení je váš chlap. Má 1–4 procesní zkumavky, takže v případě potřeby můžete spustit dvě úlohy najednou.
Pracujete s optoelektronikou (jako jsou VCSEL), která potřebuje nízko{0}}tepelné žíhání (250–500 stupňů)? Nízkoteplotní RTP zařízení je k tomu stvořeno. Zabraňuje spalování choulostivých materiálů a udržuje částice na nízké úrovni-pro výkon opto-zařízení.
Potřebujete pouze základní žíhání (např. retuš{0}}implantace iontů) pro prototypy? Desktop RTP dělá svou práci, aniž by věci příliš komplikoval.
3. S jakými materiály pracujete?
Ne všechny pece si hrají hezky s každým materiálem.
Přeskočte hádání:
Křemík (pro integrované obvody nebo standardní IGBT)? Většina modelů funguje, ale zařízení pro oxidaci a difúzi RTP je skvělé, pokud potřebujete více procesů.
Široké-bandgap věci jako SiC nebo GaN (pro elektrické moduly)? Zařízení pro oxidaci a difúzi RTP zvládá jejich vysoké-potřeby tepla (400–1200 stupňů) nebo vysokoteplotní oxidační RTP, pokud se zaměřujete na filmy.
Niobát lithný (pro optoelektroniku)? Držte se nízkoteplotního zařízení RTP{0}}. Jeho rozsah 250–500 stupňů nepoškodí materiál jako u modelu s vysokým-teplem.
Další: Ponořte se do specifikací, které skutečně ovlivňují vaši práci
Jakmile budete mít základy, je čas zkontrolovat specifikace, které udělají nebo přeruší váš proces. Nezavěšujte se na každé číslo-zaměřte se na tyto tři.
Regulace teploty: Udělejte to správně, jinak budou vaše díly trpět
Pokud váš proces vyžaduje přísnou kontrolu teploty, nedělejte kompromisy. Například:
Nízkoteplotní RTP zařízení má 860mm plochou zónu (to je oblast s konzistentním teplem) -, která je ideální pro zajištění stejného zpracování každého plátku v dávce.
Zařízení pro vysokoteplotní oxidaci RTP dosahuje přesnosti ±0,5 stupně-nesmí se-vyjednávat, pokud pěstujete filmy SiO₂, kde i nepatrný posun teploty ničí kvalitu.
Pokud přepínáte mezi nízkou a vysokou teplotou (řekněme 500–1000 stupňů), mají polo-automatické nebo automatické RTP dvojí ovládání: termočlánky pro nižší teploty, pyrometry pro vyšší. Nejsou potřeba žádné ruční úpravy.
Automatizace: Kolik práce chcete dělat?
Automatizace není jen „fantastická“-je o konzistenci a rychlost.
Pokud jste laboratoř, kde se vzorky manipuluje jedna osoba, ruční vkládání (zařízení stolního RTP) je v pořádku. Nebudete potřebovat roboty na 10 oplatků týdně.
Pro střední hlasitost šetří dvířka automatické komory Semi{0}}Automatic RTP-čas, když vložíte destičku, stisknete start a dvířka se sama otevřou/zavřou. Méně postávání, méně chyb.
Obchody s velkým{0}}objemem? Roboti automatického RTP zvládají nakládání, zarovnávání a chlazení-a navíc se připojují k vašemu systému řízení výroby. Má dokonce míru rozbití plátku pod 1 z 10 000. Vyplatí se investovat, pokud vás prostoje stojí peníze.
Atmosféra: Udržujte nečistoty mimo (pokud potřebujete)
Pokud je váš proces citlivý na kyslík (jako doping polovodičů), nevynechávejte toto.
Polo{0}}automatické a automatické RTP udržují kyslík pod 1 ppm-super čisté. Mají také 6 MFC (regulátory hmotnostního průtoku), které upravují směsi plynu přesně tak, jak potřebujete.
Zařízení RTP pro stolní počítače je pod 3 str./min.-dost dobré pro základní úlohy, ale ne pro ultra-čisté procesy.
Pokud provádíte pouze jednoduchou oxidaci, 3 ppm jsou v pořádku. Pokud vyrábíte chipsy, kde i nepatrná nečistota zabíjí výkon, připravte se<1 ppm models.
Na závěr: Nezapomeňte na praktické věci
Ani ta nejlepší pec nebude fungovat, pokud neodpovídá vašemu prostoru nebo rozpočtu.
Prostor: Nejprve měřte, nakupujte později
Laboratoř nebo malý obchod? RTP stolního počítače je 910 mm × 860 mm × 695 mm-, což je přibližně velikost velkého stolu.
Střední zařízení? Polo{0}}automatický RTP (8{5}}palcový model) má rozměry 970 mm × 1 550 mm × 2 160 mm – stále lze ovládat, ale budete potřebovat vyhrazené místo.
Velká továrna? Dvoudutinový -model Automatic RTP má rozměry 2100 mm × 2 450 mm × 2 200 mm-, abyste měli dostatek prostoru pro pohyb.
Bezpečnost: Nesmí se o tom-vyjednávat (ale my vás kryjeme)
Všechny naše modely splňují standardy SEMI S2-pro bezpečnost. Ale některé mají další výhody:
Zařízení Automatické RTP má jedno{0}}tlačítkové nouzové zastavení a upozorní vás na přehřátí nebo únik vody-, které jsou kritické pro nepřetržitý provoz.
Zařízení RTP pro stolní počítače má bzučáky a výstražná světla-jednoduché, ale účinné pro laboratoře, kde může někdo žonglovat s více úkoly.
Stále se zasekl? Jsme tu, abychom vám pomohli
Buďme upřímní,-někdy si o tom musíte promluvit. Pokud jste na hraně (řekněme, že si vybíráte mezi polo-automatickou a automatickou pro rostoucí objem), můžeme:
Projděte si svůj aktuální pracovní postup a jak byste jej mohli škálovat.
Ukažte vám ukázku toho, jak by model zvládl váš konkrétní proces.
Dokonce upravte model (například přidáním dalších procesních trubek), aby vyhovoval vašim potřebám.
Neprodáváme „jedna{0}}velikost-sedí-všem“-prodáváme pece, které se hodí pro vaši práci. Ať už testujete nové materiály nebo provozujete výrobní linku, existuje model, který je pro vás ten pravý.
Stačí kontaktovat náš technický tým-pomůžeme vám to najít.
