Přehled produktů
Tento jediný čistič waferů je navržen speciálně pro práci s polovodičovými wafery-pokrývá vše od 8palcových až po 12palcové formáty, bez výjimek. Každý model je dodáván s přesným řízením procesu (zahřívání, koncentrace, průtok) a komunikací SECS/GEM, takže jeho integrace do chytrých továren je hračka. A co je ještě lepší, je plně konfigurovatelný, aby vyhovoval všem potřebám vaší aplikace.
Takto se série rozpadá:
SWC 100:
Navrženo s ohledem na 12-palcové wafery. Má 8 komor a pracuje se 4 FOUP, zvládá všechny standardní mokré procesy, které byste dnes-potřebovali.
SWC 200:
Další 12palcová zaostřená možnost, ale s boost-12 komorami místo 8, plus 4 FOUP kompatibilita. Základní procesy? Úplně stejné jako SC3100, takže žádná nová křivka učení.
SEC Plus:
Flexibilní z celé skupiny. Funguje stejně s 8-palcovými a 12palcovými wafery a počet komor si můžete přizpůsobit od 2 do 8. Ideální pro energetická zařízení a procesní nastavení na bázi křemíku.
Výhody
◆ Flexibilita formátu a konfigurace
SWC100 / SWC 200: Pevná 12-palcová podpora (8/12 komor) pro velkoobjemovou standardní produkci.
SEC Plus: 8–12- kompatibilita + přizpůsobitelné komory, přizpůsobení pracovním postupům zařízení se smíšeným formátem/výkonem.
◆ Přesné řízení procesu
Všechny modely: Regulace ohřevu/koncentrace/průtoku/tlaku, plus volitelné chemikálie (DHF, SC1 atd.) a trysky 3ea pro rovnoměrné zpracování.
SEC Plus: Přidána separace kyselin/zásad/organických výfukových plynů + chemická regenerace, což zvyšuje bezpečnost a efektivitu nákladů.
◆ Široká kompatibilita
SWC100 / SWC 200: Podpora 4FOUP nosiče pro integraci 12palcové fab.
SEC Plus: kompatibilita 2–4 Open Cassette/SMIF/FOUP, přizpůsobení starším a moderním výrobním linkám.
Aplikace
SWC100 / SWC 200 (12palcové destičky)
Základní procesy: čištění RCA, čištění GATE, leptání/odlupování oxidem, odstranění fotorezistu.
Specifické použití: Odstraňování částic/kovových/organických nečistot, před/po-čištění, čištění propojení Al/Cu (pro logické/paměťové čipy).
SEC Plus (8–12palcové wafery)
Cílová zařízení: Karbid křemíku/výkonová zařízení na bázi křemíku, procesní zařízení na{0}}křemíku.
Specifické procesy: Ředění/čištění zadní strany, čištění tenkých plátků, vysokoteplotní{0}}leptání H3PO4, plus standardní odstranění kontaminace a čištění propojení.
Parametry
|
Specifikace |
SWC100 |
SWC 200 |
SEC Plus |
|
Velikost oplatky |
12 palců |
12 palců |
8-12 palců |
|
komory |
8 komor |
12 komor |
2-8 komor (přizpůsobitelné) |
|
Kompatibilita s operátorem |
4FOUP |
4FOUP |
2-4 Otevřete kazetu/SMIF/FOUP |
|
Podporované chemie |
DHF,SC1,SC2,DIO3,DICO2,IPA,N2 |
DHF,SC1,SC2,DIO3,DICO2,IPA,N2 |
Etchant,SC1+Megasonic,DHF,DICO2,N2 |
|
Funkce řízení procesů |
Řízení ohřevu/koncentrace/průtoku/tlaku |
Řízení ohřevu/koncentrace/průtoku/tlaku |
Řízení ohřevu/koncentrace/průtoku/tlaku |
|
Podpora dodávek chemikálií |
N/A |
N/A |
CCSS, LCSS |
|
Řízení výfuku |
N/A |
N/A |
Samostatný výfuk (kyselina/zásada/organické látky) |
|
Další funkce |
N/A |
N/A |
Chemická regenerace; ochrana proti přehřátí vany; únik |
|
Komunikační protokol |
SECS/GEM |
SECS/GEM |
SECS/GEM |
FAQ
Jaké velikosti waferů tyto modely podporují?
SWC100 / SWC 200 podporují pouze 12palcové wafery; SEC Plus je flexibilní pro 8–12palcové wafery.
Jaký je rozdíl mezi SWC100 a SWC 200?
Sdílejí stejné 12-palcové procesní schopnosti – SC3100 má 8 komor, zatímco SWC 200 lze rozšířit na 12 komor pro vyšší propustnost.
Jaký model je vhodný pro zpracování výkonových zařízení?
SEC Plus je optimalizován pro výkonová zařízení z karbidu křemíku/křemíku (podporuje ztenčení zadní strany, vysokoteplotní -leptání H3PO4).
Mohou se tyto systémy připojit k MES naší továrny?
Ano-všechny modely plně podporují komunikační protokol SECS/GEM pro tovární integraci.
Podporuje řada SE funkce pro-úspory nákladů na chemikálie?
Ano, zahrnuje funkci chemické regenerace (recyklace procesních chemikálií) a odvod klasifikovaného odpadu.
S jakými dopravci tyto systémy spolupracují?
SWC100 / SWC 200 použití 4FOUP; SEC Plus podporuje 2–4 otevřené kazety/SMIF/FOUP (přizpůsobuje se starším/moderním řadám).
Populární Tagy: jeden čistič oplatek, výrobci, dodavatelé čističů jednoho oplatky v Číně
