Přehled produktů

Tři magnetronová naprašovací zařízení naší společnosti, založená na technologii PVD, všechna nanášejí vysoce kvalitní-kovové, dielektrické a polovodičové filmy, liší se však zaměřením aplikace.

Vezměte si průmyslový jednokomorový model: je navržen pro velkosériovou-výrobu s vynikajícím využitím cílů, které udržuje náklady pod kontrolou. Bezproblémově zpracovává 8palcové wafery a zajišťuje konzistentní výstupní požadavky průmyslové výroby.

Pak je tu průmyslová více{0}}komorová verze, která využívá modulární nezávislé komory (například ohřev, naprašování a další) k automatizaci celého procesu nanášení.

Je to{0}}změna hry pro hromadnou-produkci komplexních vícevrstvých filmů-, která omezuje ruční zásahy. Výzkumný-stroj na druhé straně je navržen speciálně pro univerzity a výzkumné instituce. Nabízí flexibilní nastavení-jako je více{7}}cílové naprašování-pro malé-dávkové výzkumné a vývojové práce, ať už jde o materiály z karbidu křemíku nebo prototypy kvantových čipů. U všech tří se držíme našeho závazku „kvalita řemesla“ a zajišťujeme, že splňují různé potřeby polovodičového průmyslu.

Chcete-li získat to nejlepší řešení pro vás, kontaktujte nás.

Aplikace

Každá ze tří magnetronových naprašovacích zařízení naší společnosti má své vlastní místo-společně pokrývající všechny potřeby v polovodičovém průmyslu.

Vezměte si průmyslový jednokomorový-model: je to všechno o velkovýrobě-, jako jsou integrované obvody. Pro přípravu tenkého filmu 8- waferů je to rychlé a stabilní, zasouvá se přímo do výrobních linek CMOS/IGBT a bez problémů dosahuje cílů jak kapacity, tak výnosu.

Průmyslový více{0}}komorový se vyznačuje plnou automatizací a solidní integrací. Ty složité složité více-vrstvy filmů pro 5G a optoelektronická zařízení? Snadno se s nimi manipuluje a splňuje přísné požadavky na přesnost hromadné výroby.

Pak je tento výzkumný-model{1}}uzpůsoben pro univerzitní výzkum a vývoj. Podporuje malé-dávkové testy na nových materiálech, jako je karbid křemíku, a funguje jako superflexibilní ověřovací platforma.

Výhody

Naše tři naprašovací zařízení Magnetron přináší cílené přednosti, přizpůsobené pro různé scénáře použití:

1. Průmyslový jednokomorový-model:

Díky vysokému cílovému využití-přímo snižuje provozní náklady. Při zpracování 8-palcových waferů poskytuje skálopevný výkon; stejnoměrnost filmu zůstává v rozmezí ±3 %, což snadno splňuje požadavky průmyslového výnosu. Navíc díky jednoduché struktuře je údržba hračkou.

2. Průmyslový více-komorový model:

Modulární automatizované komory jsou jeho esem, které výrazně zvyšují efektivitu výroby. Obsahuje také pokročilou kontrolu částic, která zajišťuje špičkovou-čistotu filmu-dokonalou pro vytváření více-vrstvých filmů používaných v 5G a optoelektronických zařízeních. A co víc, jeho silná integrační schopnost mu umožňuje bezproblémové přizpůsobení široké škále materiálů.

3. Prozkoumejte-model hodnocení:

Byl navržen s ohledem na výzkum a vývoj a nabízí flexibilní nastavení, jako je více{0}}cílové naprašování, aby vyhovoval novým potřebám vývoje materiálů. Přesnost na-úrovni mikrometru poskytuje spolehlivou podporu pro ověřování procesů a její návrh malého-dávkového zpracování pomáhá snížit náklady na výzkum a vývoj-ideální pro průzkum laboratoří.

Parametry

Položka	Průmyslový jednokomorový-model	Průmyslový více{0}}komorový model	Výzkumný-model hodnocení
Použitelná velikost oplatky	8 palců a méně	6 palců / 8 palců	8 palců a méně
Maximální vakuum	8x10-5 Pa	2x10-5 Pa	-
Jednotnost filmu	Menší nebo rovno ±3 %	Menší nebo rovno ±3 %	±3 % (4palcový cíl, 8palcový plátek)
Substrate Stage Temp.Control	RT-650 stupňů (nebo chlazení)	-	RT-600 stupňů (topení nebo chlazení)
Rychlost otáčení podstavce	-	-	5-20 ot./min
Metoda naprašování	Jedno{0}}cílové naprašování	-	Jedno{0}}cílové/více{1}}cílové sekvenční/společné{2}}naprašování
Napájení	Volitelné DC/RF/MF	-	Volitelné DC/RF/MF
Konfigurace klíčů	Jedna procesní komora; Méně než nebo rovno 4 cílovým zbraním	Méně než nebo rovno 5 procesním komorám (ohřev, chlazení, naprašování atd.)	Více{0}}cílové naprašování: před-vakuová komora (volitelně); modul čištění vzorků
Použitelné materiály	Křemík, sloučeniny, keramika atd.	Křemík, sloučeniny atd.	Kovy (Al,Au,Cu), dielektrika (SiO2,TaN), polovodiče

FAQ

Jak si vybrat mezi třemi modely?

Pro hromadnou výrobu 8-palcových waferů (např. CMOS/IGBT) zvolte průmyslový jednodutinový model; pro složité vícevrstvé fólie v 5G/optoelektronice zvolte průmyslový vícedutinový model; pro výzkum a vývoj nových materiálů na univerzitách (např. karbid křemíku) zvolte model výzkumu.

Podporuje povrchová úprava materiálu na bázi -křemíku-?

Ano, podporuje vše, včetně keramiky, složených polovodičů, kovů (Al/Au), dielektrik (SiO₂) atd.

Lze zvětšit velikost oplatky?

Výchozí hodnota je 8 palců a méně (6-8 palců u více-dutinového modelu). Rozšíření v malém měřítku lze předem přizpůsobit, ale je třeba posoudit proveditelnost procesu.

Jaké jsou testovací podmínky pro rovnoměrnost tloušťky filmu menší nebo rovna ±3 %?

Na základě 8palcových plátků (4palcový cílový + 8-palcový plátek pro výzkumný model), standardní testování vrstvy kovu/dielektrického filmu. Optimalizace je možná pro různé materiály/tloušťky fólie.

Je poskytováno školení instalace?

Poskytujeme-instalaci a zprovoznění na místě a navíc školení provozu/údržby, abychom zajistili, že tým bude moci rychle začít.

Lze zařízení upgradovat později?

Více{0}}dutinové a výzkumné modely lze upgradovat pomocí terčových zbraní/předvakuových komor; modely s jednou-dutinou mají omezený potenciál upgradu, proto doporučujeme od začátku jasně definovat dlouhodobé-potřeby.

Jak dlouhý je dodací cyklus? Dá se to urychlit?

Jednodutinové/výzkumné modely: 8-12 týdnů; vícedutinové modely: 12-16 týdnů; urychlené dodání je smluvní a závisí na rozvrhu výrobní linky.

Existují nějaké slevy na po{0}}výrobní náklady na údržbu?

Hlavně pro cílové materiály a spotřební materiál. Spotřební materiál je nabízen se slevou větší nebo rovnou 10 % po dobu 5 let po záruční době. Poskytujeme také pokyny pro údržbu, abychom snížili náklady.

Populární Tagy: magnetronové naprašovací zařízení, Čína výrobci magnetronových naprašovacích zařízení, dodavatelé