Tento plně automatický -řadový sušič s laminárním prouděním se zasune přímo do nastavení čištění nebo leptání-na míru-vytvořených tak, aby vyhovovaly vašim potřebám v oblasti polovodičových procesů. Je navrženo tak, aby následovalo čištění čipů QDR nebo ultra-čistou vodou (DIW) a zajistilo pracovní postup „Dry in → Dry out“, který snižuje zadržování vlhkosti-.
Vyrobeno s elektrolytickou chemickou úpravou SUS{8}}304 (EP) pro držák koše, otočný talíř a komoru pro kontaktní kapalinu, zvládne 6-palcové/4palcové kazety s plným krytem (dodané vámi) a polovodičové materiály o tloušťce 300 μm a silnější. Míra fragmentace zůstává pod 1 ku 10 000 u problémů souvisejících se stroji – vadné produkty jsou samozřejmě vyloučeny.
Klíčové bity: Inteligentní ovládání PLC pro spolehlivé a intuitivní ovládání; 3HP motor s proměnnou frekvencí (0-999 ot./min.) s řemenovým pohonem, který je nenáročný na údržbu; dusíkem-utěsněné vřeteno (design bludiště), aby komora zůstala izolovaná. Navíc odstraňovač iontů, filtrace vzduchu a importovaný silikon + elektrický ohřev-bez kapek po sušení.
Při rozměrech 780×1510×1140 mm (výška dveří 1820 mm) a ~450 kg má symetrické uspořádání 4-stanic. Dveře z nerezové oceli jsou poháněny cylindrickým pohonem (zadní otevírání o 90 stupňů) s těsněním z fluorové pryže. Rozhraní výfuku (průměr 110 mm) a odvodnění (PVC DN32) činí integraci hračkou.
Pro výrobce polovodičů je to solidní výběr-stabilní (vibrace menší nebo rovné 90 μm při 350 ot./min), přesný a navržený tak, aby minimalizoval plýtvání a zároveň udržoval pracovní postupy na správné cestě. Žádné kudrlinky, jen spolehlivý výkon pro vaši výrobní linku.
