Technický princip
3D optický profilometr využívá především dvě optické technologie:
1. Technologie interference bílého světla: Analýzou fázových změn interferenčních proužků a výpočtem rozdílu výšky povrchu má podélné rozlišení sub nanometrů.
2. Konfokální technologie: využívající princip konjugovaného ostření objektivu, přesnost ostření dosahuje 2nm, vhodná pro měření povrchů s vysokým sklonem.
Oblast použití
1. Přesná výroba: Analýza poruch polovodičových čipů, charakterizace MEMS zařízení.
2. Materiálový výzkum: Detekce koroze kovů/plastů, měření odrazivosti optického filmu.
3. Průmyslové testování: Analýza opotřebení automobilových komponentů, hodnocení rovinnosti leteckých komponentů.
