Pokud jste někdy procházeli seznamy litografických systémů a přemýšleli jste: „Který vlastně vyhovuje mým potřebám?“-nejste sami. Ať už vytváříte prototyp v laboratoři nebo škálujete průmyslovou výrobu, výběrem modelu Masless UV Lithography od Nice-se dosáhnete přizpůsobení vašich cílů klíčovým specifikacím. Pojďme si rozebrat naši nabídku, abychom vám zjednodušili výběr.
Začněte s tím, co-musíte mít
Nejprve odpovězte na dvě otázky, abyste rychle zúžili možnosti:
Jakou nejmenší funkci potřebuji? (Vazba na kritický rozměr/minimální čáry/mezery.)
Jak rychle potřebuji vyrábět? (Týká se rychlosti expozice.)
Všechny naše modely vynechávají fyzické masky (velké pro flexibilitu!), ale jsou optimalizovány pro přesnost, rychlost nebo velké substráty. Zde je návod, jak se skládají.
1. Akademický výzkum a přesnost malých{1}}dávek: MLM 100
U univerzitních laboratoří nebo startupů, které prototypují mikrozařízení (MEMS, mikrofluidika), UV Litho-ACA vyvažuje přesnost a prostorovou efektivitu.
Přesnost: 0,8 μm kritický rozměr (CD), 1,0 μm čáry/mezery (skvělé pro laboratorní-práci v měřítku).
Rychlost: Až 100 mm²/min (tři možnosti objektivu-ideální pro opakované testování).
Prostor: Kompaktní 750 × 800 × 700 mm (320 kg), potřebuje pouze 1,5 m × 1,5 m (vejde se do malých laboratoří).
Bonus: Volitelné stupně šedi, podporuje formáty GDS/DWG/DXF.
2. Vysoce{1}}přesné průmyslové běhy: MLM 200
Když záleží na ultra-jemných detailech (pokročilé senzory, čipy s vysokou-hustotou) a konzistenci, UV Litho-ACA Pro+ to dokáže.
Přesnost: 0,4 μm CD, 0,8 μm čáry/mezery, přesnost překrytí 350 nm (ostré vícevrstvé struktury).
Rychlost: Až 100 mm²/min (čtyři čočky-stabilní pro malou-až{3}}produkci).
Výhoda: Podpora stupňů šedi (až 4096 úrovní) pro 3D mikrostruktury (např. mikro-optika).
Prostor: plocha 2,2 m × 1,7 m (590 kg)-vejde se do průmyslových zařízení.
3. Kritické potřeby ve stupních šedi: MLM 300
Pokud váš projekt vyžaduje stupně šedi (bez výjimek-např. vlastní mikro-čočky, biomedicínské implantáty), UV Litho-ACA Master je pro něj stvořen.
Stupně šedi: Není-volitelné (žádné kompromisy v kvalitě 3D).
Přesnost: Stejná jako Pro+ (0,4 μm CD, přesnost překrytí 350 nm).
Rychlost: Rychlejší než Pro+ (až 150 mm²/min)-lepší pro o něco větší dávky.
Prostor: Stejný jako Pro+ (2,2 m×1,7 m, 590 kg).
4. Hromadná výroba a velké substráty: 400 MLM
Pro práci s velkým{0}}objemem (velké displeje, solární články) upřednostňuje UV Litho-S rychlost a velikost.
Rychlost: Nejrychlejší v naší řadě-až 2500 mm²/min (dvě čočky, zkracují dobu výroby).
Podklady: Držadla do 200 mm × 200 mm (ostatní max. 150 mm × 150 mm).
Přesnost: 1,0 μm CD, 2,0 μm čáry/mezery (více než dostačující pro průmyslové potřeby).
Prostor: plocha 2,7 m × 2,3 m (1400 kg)-ideální pro tovární podlahy.
5. Přesnost + velké substráty: 500 MLM
Pokud potřebujete velké substráty a lepší přesnost (ohebné senzory nejvyšší třídy), UV Litho-S+ je to pravé.
Přesnost: 0,5 μm CD, 0,5 μm čáry/mezery, přesnost překrytí 250 nm (nejlepší v naší řadě).
Rychlost: Až 1200 mm²/min (tři čočky-rychlejší než řada ACA pro velké substráty).
Podklady: 200 mm × 200 mm max (váha bez přepínání modelů).
Prostor: Stejný jako UV Litho-S (2,7 m×2,3 m, 1400 kg).
Rychlý Cheat Sheet: Přizpůsobte svůj projekt
|
Typ projektu |
Nejlepší model |
Klíčový důvod |
|
Laboratorní výzkum (malé šarže) |
100 MLM |
Kompaktní + vyvážená přesnost/rychlost |
|
Vysoce přesné{0}}průmyslové běhy |
200 MLM |
0,4μm CD+ s podporou stupňů šedi |
|
Kritická práce ve stupních šedi |
300 MLM |
Ne-volitelná možnost ve stupních šedi+ nejvyšší přesnost |
|
Hromadná výroba (velké substráty) |
400 MLM |
Podpora 2500 mm2/min+200mm x 200 mm |
|
Precizní práce s velkým-podkladem |
500 MLM |
0,5μm CD+200mm x 200mm |
Závěrečné poznámky
Všechny modely naší bezmaskové UV litografie zahrnují automatické přepínání čoček (šetří čas!) a certifikace ISO (ISO 9001/14001/45001 pro spolehlivost). Nabízíme také vlastní extra-velké expoziční plochy (až 4 m²)-stačí se zeptat.
„Správný“ model není nejdražší,-je to ten, který zaškrtává vaše políčka. Máte dotazy ohledně případu použití? Kontaktujte nás nyní a vyberte si nejvhodnější řešení bezmaskové UV litografie.
